芯片制造重要一環(huán)取得突破！
中國(guó)電科旗下裝備子集團(tuán)日前已成功實(shí)現(xiàn)離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化
可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機(jī)一站式解決方案
中國(guó)電科連續(xù)突破高性能離子源、高速晶圓傳輸?shù)取翱ú弊印奔夹g(shù)
自主研制中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機(jī)
工藝段覆蓋至28nm
累計(jì)形成核心發(fā)明專利413項(xiàng)
實(shí)現(xiàn)我國(guó)芯片制造領(lǐng)域全譜系離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展
有效緩解我國(guó)芯片制造領(lǐng)域斷鏈、短鏈難題
策劃：趙承
監(jiān)制：霍小光、令偉家
統(tǒng)籌：謝良、杜宇、楊進(jìn)欣
記者：溫競(jìng)?cè)A
編輯：邵藝博
制作：賈伊寧
