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三星電子首次引入東進世美肯半導體的光刻膠進入其量產線

2022-12-05 11:30:27來源:IT之家

12 月 4 日消息,據 ETNews 消息,三星電子首次引入東進世美肯半導體的光刻膠進入其量產線,這也是三星進行光刻膠本土量產的首次嘗試。不過考慮到三星與海外光刻膠供應商的關系,目前具體產量尚不清楚,且三星是否會額外引進其他品種的光刻膠也并沒有得到回應。

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報道稱,三星電子已將韓國公司開發的用于高科技工藝的極紫外光刻膠(PR)引入其大規模生產線。2019 年 7 月,日本方面宣布限制向韓國出口包括含氟聚酰亞胺、光刻膠以及高純度氟化氫在內的三項重要半導體及 OLED 面板原材料,經過三年的努力,韓國實現了光刻膠本地化生產。

三星電子被發現在他們的一條半導體工藝(層)線上使用了東進世美肯(Dongjin Semichem)的光刻膠,該光刻膠去年通過了三星電子的可靠性測試,不到一年就被應用于大規模生產線。一條工藝線只是三星電子整個流程中非常小的一部分,但由于這是一個此前完全依賴進口的產品,其具有特殊的意義。以前,韓國 100% 依賴從日本和其它國家進口光刻膠。

由于三星將這一產品用于實際的半導體生產,東進世美肯成為第一家將光刻膠本地化并達到大規模生產水平的公司。永昌化學和 SK 材料性能也在開發光刻膠,但它們還沒有達到可靠性驗證的水平。

光刻膠,是指經過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X 射線等光照或輻射后,溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料,是光刻工藝中的關鍵材料,主要應用于積體電路和分立器件的細微圖形加工。

IT之家了解到,從整體業態來看,全球光刻膠市場高度集中,日美把控著絕大部分市場份額。日本的 JSR、東京應化、信越化學及富士膠片四家企業占據了全球 70%以上的市場份額,壟斷地位穩固。

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