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英特爾愛爾蘭Fab 34首臺EUV光刻機交付 由ASML制造

2022-04-12 14:53:35來源:愛集微

英特爾在愛爾蘭萊克斯利普的工廠 Fab 34 已經交付了其首臺 EUV 光刻機,該設備由 ASML 制造,是 Intel 4 制程技術的關鍵一環,這也使得 Fab 34 成為歐洲最先進的芯片制造工廠。

據 eeNews 報道,第一臺設備從英特爾位于俄勒岡州的技術開發工廠抵達愛爾蘭,這意味著Fab 34 將成為工廠外第一個運行新 EUV 技術的工廠。

該設備由 10 萬個部件、3000 根電纜、4 萬個螺栓和超過 1 英里長的軟管組成。英特爾花了 18 個月的設計和施工活動,為 Fab 34 大樓接收這臺機器做準備。

該建筑圍繞光刻機進行設計,后者跨越了工廠的四層,包含一個內置的起重機,延伸到 3 米高的天花板,還需要大約 700 個電力、機械、化學和氣體供應的連接點。

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