8 月 20 日消息根據(jù)外媒 BusinessKorea 消息,三星電子和 SK 海力士正在研究使用多種韓國產(chǎn)半導體制造相關的材料、設備,以取代進口產(chǎn)品。這是為了減少供應鏈風險,保證自家半導體工廠的正常生產(chǎn)。
三星電子正在測試一家韓國廠商的 EUV 光刻膠樣品,有消息稱三星將在今年下半年開始使用這種光刻膠,用于其 14nm 工藝 DRAM 生產(chǎn)。EUV 光刻膠是半導體芯片生產(chǎn)的核心材料,用于曝光工藝。目前在此類產(chǎn)品全球市場中,日本產(chǎn)品市場份額達到 90% 以上,構成壟斷地位。由于日本已經(jīng)限制向韓國出口 EUV 光刻膠 2 年多,因此三星電子正努力尋找更可靠的本土光刻膠供應商。
SK 海力士方面,目前正在與韓國氫氟酸制造商RAM Technology 進行合作,以減少對進口產(chǎn)品的依賴。目前,SK 海力士已經(jīng)在韓國和中國的芯片工廠使用韓國產(chǎn) HF 氫氟酸。
IT之家了解到,如今中國企業(yè)也在努力研發(fā),以求逐步擺脫對于進口芯片制造設備的依賴。據(jù)此前消息,南大光電 ArF光刻膠已經(jīng)通過專家組驗收,可以用于 90nm~14nm 工藝。關于 7nm 工藝用的光刻膠,南大光電表示,目前只是小規(guī)模投產(chǎn),相關生產(chǎn)線正在構建當中,存在較多的不確定性。