半導體設備長坡厚雪，行業黃金發展正當時。半導體設備在硅片制造以及芯片制造的前道/后道工藝中均發揮著重要作用。半導體設備行業壁壘高筑，當前為國產廠商黃金窗口期：技術維度看，半導體設備是由成千上萬的零部件組成的復雜系統，需保障設備在nm級別的操作、長時間運行下的超高良率。客戶維度看，由于設備本身和產線構成的復雜性，晶圓制造廠商對于上游設備的驗證、驗收有嚴苛的標準和流程，常規情況下導入新供應商意愿差，但受益貿易摩擦，下游晶圓廠積極導入國產設備，帶來黃金窗口期。下游擴產及技術升級趨勢明確，本土半導體設備廠商已實現初步導入，技術水平/工藝覆蓋度有望快速提升，完成0到1向1到N的轉變，有望加速放量。

國內半導體設備持續取得突破。近年來我國半導體設備領域發展迅猛，其中去膠設備已基本實現國產化，刻蝕、清洗、熱處理等設備國產化率20%左右，相關廠商業績持續放量，PECVD、涂膠顯影設備、離子注入設備國產化率僅個位數，但產品驗證、客戶合作進展順利，進入加速放量期。1)刻蝕設備：中微公司、北方華創部分技術已達到國際一流水平;2)薄膜沉積設備：拓荊科技引領PECVD國產化，北方華創PVD優勢顯著，中微公司主攻MOCVD設備，共同受益國產化率提升。3)光刻機：上海微電子目前已可量產90nm分辨率的ArF光刻機，28nm分辨率的光刻機也有望取得突破。5)清洗設備：國內盛美上海、芯源微等廠商加速突破。盛美單片清洗設備最高可單臺配置18腔體，達到國際先進水平;芯源微單片物理清洗設備國內領先，持續開拓單片化學清洗設備市場。6)涂膠顯影設備：芯源微為前道涂膠顯影設備國內唯一供應商，有望按照I-line→KrF→ArF→ArFi的路徑實現對海外涂膠顯影設備的替代。7)CMP設備：華海清科差異化技術布局打破海外壟斷，是目前國內唯一一家能夠提供12英寸CMP商業機型的高端半導體設備制造商。8)熱處理設備：屹唐半導體19年全球市占率5%，北方華創立式爐、臥式爐達到國內領先水平。9)離子注入機：應用材料壟斷，國內凱世通(萬業企業)、中科信引國產替代。10)去膠設備：屹唐半導體為去膠設備全球龍頭，市占率全球第一。

下游制造廠商大幅擴產為設備國產化提供土壤，國產化率提升可期。終端新興應用對半導體需求量以及性能的升級推動半導體設備市場持續擴容。工藝層面，隨著制程推進和工藝升級，單位產能下設備需求將進一步增加，推動設備行業附加值持續提升。需求層面，全球半導體產業資本支出保持強勁增長，根據ICInsights數據，2022年全球半導體行業資本支出預計將達到1904億美元，同比提升24%。其中國內廠商擴產更為激進，預計我國將在十年中增加全球40%的新半導體制造能力，極大拉動國內半導體設備需求，有望助推國產替代進程。

投資建議與投資標的

我們認為半導體設備領域壁壘高，市場前景廣闊，本土廠商在國產替代趨勢下業績確定性高，長期成長屬性凸顯。建議關注國內半導體設備領先企業拓荊科技、中微公司、北方華創、芯源微、萬業企業、華海清科、盛美上海等。

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