研究機構(gòu) TECHCET 日前發(fā)布報告，預(yù)測 2022 年全球電子氣體市場規(guī)模將達到約 68 億美元，同比增速達到 8%，并預(yù)計到 2026 年，電子氣體市場規(guī)模將達到每年 90 億美元。

TECHCET 稱，市場增長動能主要源于特種氣體，先進制程邏輯、存儲產(chǎn)品工藝復(fù)雜，工序增加，帶動刻蝕氣、光刻氣等各類特種氣體需求，預(yù)計這一細分市場增速今年將達到 10%。

TECHCET 警告稱，在供應(yīng)方面，除氖氣外，氦氣也正遭受俄烏沖突影響，加之其他產(chǎn)區(qū)的生產(chǎn)、儲運問題，使供應(yīng)鏈進一步繃緊。

展望未來數(shù)年，隨著全球新建晶圓產(chǎn)能陸續(xù)開出，三氟化氮 (NF3)、六氟化鎢 (WF6) 、乙硼烷 (B2H6) 等關(guān)鍵氣體供需也將隨之緊張，TECHCET 特別指出，用于工藝腔室清潔的 NF3 可能出現(xiàn)供不應(yīng)求。

關(guān)鍵詞：