6 月 18 日消息，佳能宣布將于 2022 年 8 月初發(fā)售 KrF 半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”的“Grade10”產(chǎn)能升級(jí)配件包(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“Grade10”升級(jí)包)。

據(jù)介紹，KrF 半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”自發(fā)售至今，已經(jīng)在生產(chǎn)存儲(chǔ)器和邏輯電路的大型半導(dǎo)體器件制造廠(chǎng)商中收獲良好口碑。新發(fā)布的“Grade10”升級(jí)包能夠在 300mm 晶圓規(guī)格基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)每小時(shí) 300 片晶圓的高效率生產(chǎn)。此外，這一升級(jí)包將于 2023 年在 KrF 半導(dǎo)體光刻機(jī)“FPA-6300ES6a”的 200mm 兼容設(shè)備上得到應(yīng)用。

IT之家了解到，“Grade10”升級(jí)包通過(guò)加快工作臺(tái)和傳送系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)，縮短了曝光時(shí)間和傳輸時(shí)間，以每小時(shí) 300 片晶圓的產(chǎn)能，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體光刻行業(yè)的更高水準(zhǔn)生產(chǎn)。同時(shí)，這是佳能在半導(dǎo)體光刻設(shè)備上首次搭載基于人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的工作臺(tái)控制系統(tǒng)，減少高速驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生的振動(dòng)，以保持高精度光刻水準(zhǔn)。此外，通過(guò)選取套刻精度(Overlay)配件，在提升產(chǎn)能的同時(shí)，更可實(shí)現(xiàn)高達(dá)4nm 的套刻精度。

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